光氧催化有機廢氣處理設備利用高能臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，因游離氧所攜正負電子不平衡，所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。臭氧對紫外線光束照射分解后的有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有良好的消除效果。利用高效能UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸( DNA) ，再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到脫臭及滅菌的目的。
有機廢氣進入到裝有特殊頻段的高效紫外線燈管的 UV 高效光解氧化模塊的反應腔后，高能 UV 紫外線光束及臭氧對有機廢氣進行協同分解氧化反應，使異味氣體物質降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳。未能有效去除的有機廢氣再經后道活性炭吸附裝置吸附，根據項目運行監測情況來看，整套廢氣處理設備對VOCs的去除效率可達到 95% ，對臭氣濃度的去除率可達到99.4%。
裂解惡臭氣體主要有：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。
